箱式气氛辊道炉
燃气辊道窑
辊道箱式气氛炉
产品详情
江苏前锦炉业设备有限公司
点击图片查看原图产品价格面议
最小起订量：未填写可售数量：未填写
产品分类CVD系统
产品简介
常规CVD系统由管式炉、流量混合器、真空体统三部分组成。改系统可以满足绝大部分气氛或真空环境下的小样品试验。每个部分都可以单独匹配成不同部件以满足不同的实验条件，如流量计可以选择浮子流量计或质量流量计，单通道或多通道，管式炉可以选择1200℃/1500℃/1700℃单温区或者多温区炉子。
主要参数
|
型号 |
QJ1200-CVD60 |
QJ1700-CVD60 |
|
工作温度 |
≤1100℃ |
≤1600℃ |
|
升温速率 |
10℃/min |
10℃/min |
|
气体预热区 |
无 |
200mm |
|
加热区长度 |
200/440mm |
200/300mm |
|
恒温区长度 |
100/220mm |
50/100mm |
|
管径 |
50/6/80/100mm |
50/60/80mm |
|
控温方式 |
30段PID程序控温 |
30段PID程序控温 |
|
真空泵 |
机械泵/分子泵 |
机械泵/分子泵 |
|
真空度 |
≤10-3Pa |
≤10-3Pa |
|
进气种类 |
1~4种 |
1~4种 |
