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RTP快速退火炉
产品简介
RTP90采用红外加热方式,双管设计结构,外管进气内管出气。炉膛烧结完毕后可自动移开,达到快速降温的目的,样品托架可以水平移除,方便拿取样品。可处理4英寸的样品,可通气氛和抽真空烧结。
主要参数
型号 |
QJ1100-RTP90 |
最高温度 |
1050℃ |
工作温度 |
≤1000℃ |
升温速率 |
50℃/s |
加热区长度 |
300mm |
恒温区长度 |
150mm |
石英管管径 |
110mm |
控温方式 |
30段PID程序控温 |
控温精度 |
±1℃ |
加热元件 |
红外灯管 |
功率 |
220V/12kw |
炉体尺寸 |
800*540*750mm |